李志坚 男，1928年出生，浙江宁波人，清华大学教授、计算机工程与科学系半导体教研组主任兼研究室主任。1951年浙江大学物理系毕业，1958年获苏联列宁格勒大学物理—数学副博士学位，毕业后回国进入清华大学，曾任微电子学研究所所长、学术委员会委员、信息学院学术委员会主任，国务院学术委员会专业评议组成员（电子学与通信），教育部科技委专业组组长（电子学与通信），中国电子学会副理事长、中国电子学会半导体专业分会副主任等职务。先后获得国家科技进步奖二等奖2项、国家发明奖二等奖1项、陈嘉庚信息科学奖、何梁何利科技进步奖等多项荣誉。1979年被评为全国劳动模范。

李志坚是我国硅基半导体科学研究的奠基人和开创者。在半导体薄膜光电导和光电机理研究中，他提出电子晶粒间界理论，在此基础上研制成高信噪比PbS红外探测器，还和半导体专业早期的创办者南德恒、王天爵等人一起，为清华半导体专业的建立和微电子学科的发展殚精竭虑，建成了国内工科大学第一个半导体实验室。在国际上半导体器件以锗为主导的情况下，他们毅然确定以硅技术为研究方向，并很快在超纯硅提炼、硅单晶拉制、硅晶体管研制等方面取得了国内先进成果，1959年研制成高超纯多晶硅。他从事硅器件研究，其中平面硅工艺及高反压硅高频三极管成果，促进了国内有关的研究和生产。1963年，他们首先研究成功高反压平面型晶体管，掌握了硅平面工艺，使清华大学成为国家大规模集成电路研究开发的重要基地之一。1977年以后，他主要从事大规模、超大规模集成技术及器件物理的研究，领导、指导和直接参与了多种静态存储器，8位、16位高速微处理器、EEPROM和1Mb汉字ROM等超大规模集成电路芯片的研制工作，并取得成功，同时开发出3微米和1微米成套工艺技术，指导并发明半导体红外高速退火技术和设备。他开创了微电子系统集成技术的研究，并先后研究出微马达等一系列MEMS器件，神经网络、语音处理等多种SOC芯片。他主编出版了《半导体材料硅》《MOS大规模集成技术》《微电子技术中的MOS物理》等书，在国内外发表论文200余篇。作为清华大学微电子所的创建人，他是我国首批博士生导师，培养了微电子和其他方面的许多优秀人才，深受师生爱戴。